[发明专利]离子束设备用双灯丝中和器在审
| 申请号： | 201910018562.1 | 申请日： | 2019-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN109881174A | 公开（公告）日： | 2019-06-14 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 伟业智芯（北京）科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/46 | 分类号： | C23C14/46;H01J37/30;H01J37/305 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 102101 北京市延庆区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种离子束设备用双灯丝中和器，包括法兰、支杆、支架、灯丝A、灯丝B、导线A、导线B、四个电极组成。由于采用独立于离子源的中和器方式，并配备二根灯丝，中和器中和效率高，灯丝不受离子束直接轰击，灯丝寿命长，整机设备工作效率高，灯丝材料原子不易污染真空室和工件，安装维护方便。 | ||
| 搜索关键词： | 中和器 灯丝 离子束设备 双灯丝 工作效率高 安装维护 灯丝材料 灯丝寿命 电极组成 整机设备 中和效率 离子束 离子源 真空室 法兰 支杆 支架 轰击 配备 污染 | ||
【主权项】：
1.一种离子束设备用双灯丝中和器，其特征在于，包括：法兰（1），一种金属钢材料制成，用于固定支杆（2）和穿孔密封安装电极A（11）和电极B（12）；支架（3），一种金属钢材料制成，用于穿孔固定所述支杆（2）和穿孔安装电极C（13）和电极D（14）；灯丝A（4），一种能发射热电子的金属细丝，一端固定在支杆（2）的支杆上端部（21）位置，另一端固定在所述电极D（14）上端；灯丝B（5），一种能发射热电子的金属细丝，一端固定在支杆（2）的支杆上端部（21）位置，另一端固定在所述电极C（13）上端；导线A（6），可通过大电流的导电线，一端连接在所述电极A（11）的上端部，另一端连接在所述电极C（13）的下端部；导线B（7），可通过大电流的导电线，一端连接在所述电极B（12）的上端部，另一端连接在所述电极D（14）的下端部。
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