[发明专利]等离子体电源装置的自我诊断模块及自我诊断方法有效
申请号: | 201910020280.5 | 申请日: | 2019-01-09 |
公开(公告)号: | CN110095733B | 公开(公告)日: | 2021-09-24 |
发明(设计)人: | 崔云善 | 申请(专利权)人: | 帕沃菲克特斯公司 |
主分类号: | G01R31/40 | 分类号: | G01R31/40 |
代理公司: | 北京冠和权律师事务所 11399 | 代理人: | 朱健 |
地址: | 韩国京畿*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 公开一种等离子体电源装置的自我诊断模块及自我诊断方法。根据实施例的等离子电源装置的自我诊断模块包括:仿真负载电阻,其为了等离子体电源装置的自我诊断而连接于电源装置终端部;测试电流施加部,其向仿真负载电阻输入电源装置运行电流;数据收集部,其从在构成电源装置的部件及电路的输入输出节点配备的诊断传感器收集根据施加于电源装置的测试电流而测量的包括输入输出电流、电压、温度、有无运转在内的自我诊断数据;及判断部,其将从数据收集部接受传递的自我诊断数据与预先设置值进行比较,判断电源装置各个构成部件及电路是否故障。 | ||
搜索关键词: | 等离子体 电源 装置 自我 诊断 模块 方法 | ||
【主权项】:
1.一种等离子体电源装置的自我诊断模块,作为等离子体电源装置的自我诊断模块,包括:仿真负载电阻,其为了所述等离子体电源装置的自我诊断而位于所述等离子体电源装置的内部,连接于电源装置终端部,在电源装置的自我诊断时,在电源装置输出端构成闭合电路;测试电流施加部,其为了确认所述电源装置的正常运转,向所述仿真负载电阻输入电源装置运行电流;数据收集部,其从在构成所述电源装置的部件及电路的输入输出节点配备的诊断传感器收集自我诊断数据,所述自我诊断数据包括根据施加于所述电源装置的测试电流而测量的输入输出电流、电压、温度、有无运转中任意一个以上;判断部,其将从所述数据收集部接受传递的自我诊断数据与预先设置值进行比较,判断所述电源装置各个构成部件及电路是否故障。
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