[发明专利]一种导电特性可调的亚太赫兹波探测器

摘要

本发明涉及一种导电特性可调的亚太赫兹波探测器，包括衬底层，衬底层的上方设置有相互间隔的引线电极以及对数周期天线，对数周期天线的两臂分别与对应的引线电极电连接，对数周期天线的两臂之间设置有调节片，对数周期天线的两臂通过石墨烯导电层形成导电沟道，石墨烯导电层设置于调节片的上方；对数周期天线的上方设置有介质层，介质层上设置有劈裂栅极，以及与劈裂栅极电连接的引线电极；该导电特性可调的亚太赫兹波探测器，通过在石墨烯导电层的下方设置调节片，由于调节片具有热敏特性或者电荷分布不均的特性，使得石墨烯导电层的载流子浓度发生变化，从而提高了探测光波的敏感度，提高了亚太赫兹波探测器的灵敏度。

主权项

1.一种导电特性可调的亚太赫兹波探测器，包括衬底层(1)，其特征在于：所述衬底层(1)的上方设置有相互间隔的引线电极(2)以及对数周期天线(3)，所述对数周期天线(3)的两臂分别与对应的引线电极(2)电连接，所述对数周期天线(3)的两臂之间设置有调节片(7)，所述对数周期天线(3)的两臂通过石墨烯导电层(6)形成导电沟道，所述石墨烯导电层(6)设置于调节片(7)的上方；所述对数周期天线(3)的上方设置有介质层(4)，所述介质层(4)上设置有劈裂栅极(5)，以及与劈裂栅极(5)电连接的引线电极(2)。