[发明专利]动态冷却剂混合歧管

摘要

本发明涉及动态冷却剂混合歧管。一种用于控制布置在衬底支撑组件上的衬底的温度的系统包括分别以固定流速供应在第一温度和第二温度下的流体的第一源和第二源。第一三通比例阀和第二三通比例阀接收来自第一源和第二源的流体，混合所接收的流体的第一部分以将具有预定温度的流体以预定流速供应到衬底支撑组件，并使所接收的流体的第二部分返回到第一源和第二源。第三三通比例阀从衬底支撑组件接收预定流速的流体，并将接收的流体返回到第一源和第二源。控制器控制第一和第二阀以将流体供应到衬底支撑组件，并控制第三阀以在第一源和第二源之间分配流体。

主权项

1.一种用于控制布置在衬底支撑组件上的衬底的温度的系统，该系统包括：第一源和第二源，其分别供应在第一温度和第二温度下的流体；第一三通比例阀，其具有连接到所述第一源的输入端口、连接到供应管线以将所述流体从所述第一源供应到所述衬底支撑组件的第一输出端口、以及连接到所述第一源的第二输出端口；第二三通比例阀，其具有连接到所述第二源的输入端口、连接到所述供应管线以将所述流体从所述第二源供应到所述衬底支撑组件的第一输出端口、以及连接到所述第二源的第二输出端口；第三三通比例阀，其具有连接到返回管线以从所述衬底支撑组件接收所述流体的输入端口，分别连接到所述第一源和所述第二源以将从所述衬底支撑组件接收的所述流体返回到所述第一源和所述第二源的第一输出端口和第二输出端口；和控制器，其用以：控制所述第一三通比例阀和第二三通比例阀以：将经由相应的所述输入端口从所述第一源和所述第二源接收的流体的第一部分输出，以经由所述供应管线以预定温度和预定流速将所述流体供应到所述衬底支撑组件；以及将通过相应的所述输入端口从所述第一源和所述第二源接收的所述流体的第二部分分别经由所述第一三通比例阀和第二三通比例阀的所述第二输出端口返回到所述第一源和所述第二源；以及控制所述第三三通比例阀，以将经由所述返回管线从所述衬底支撑组件接收的所述流体在所述第一源和所述第二源之间分配。