[发明专利]一种简易各向异性薄膜磁阻传感器有效
| 申请号： | 201910022172.1 | 申请日： | 2019-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN109752678B | 公开（公告）日： | 2021-10-19 |
| 发明（设计）人： | 陈洁;黄旭庭 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01R33/09 | 分类号： | G01R33/09 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 210000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种简易各向异性薄膜磁阻传感器。该薄膜磁阻传感器包括由两条完全一样的各向异性第一磁阻薄膜条(A)和第二磁阻薄膜条(B)连接而成，第一磁阻薄膜条(A)和第二磁阻薄膜条(B)的相位差为45°。所述第一磁阻薄膜条(A)或第二磁阻薄膜条(B)的形状为连续的S形状。本发明的简易各向异性薄膜磁阻传感器具有结构简单，实施便捷的优点，并且因为两条磁阻薄膜呈45°摆放，更加灵敏，能测出较小的磁场角度变化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 简易 各向异性 薄膜 磁阻 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种简易各向异性薄膜磁阻传感器，其特征在于，该薄膜磁阻传感器包括从下向上依次叠加设置的衬底(1)、绝缘层(2)、各向异性磁阻层(3)和顶层电极层(4)；其中，各向异性磁阻层(3)由两条完全一样的各向异性第一磁阻薄膜条(A)和第二磁阻薄膜条(B)连接而成，第一磁阻薄膜条(A)和第二磁阻薄膜条(B)的相位差为45°。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东南大学，未经东南大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910022172.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
