[发明专利]一种外定位框环贴底膜装置在审
| 申请号： | 201910022224.5 | 申请日： | 2019-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN109591282A | 公开（公告）日： | 2019-04-09 |
| 发明（设计）人： | 孟强;陈志远;聂伟;王坤;魏通;徐学飞;孔凡苑 | 申请（专利权）人： | 江苏汇成光电有限公司 |
| 主分类号： | B29C63/02 | 分类号： | B29C63/02;H01L21/687 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人： | 董旭东 |
| 地址： | 225128 江苏省扬州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了半导体加工领域内的一种外定位框环贴底膜装置，包括机壳体，与定位平台相对应的前后两侧均设有转动辊组，两转动辊组之间纵向设有具有粘性的传动底膜，定位平台上方对应设有可移动的吸环，外定位框环的内径小于定位平台的外径，外定位框环的外径大于定位平台的外径，外定位框环下侧开设有环形切割槽；所述定位平台下方同轴设置有旋转盘，旋转盘外周均匀间隔分布设有若干旋转臂，旋转臂端部设有旋转座，旋转座上可转动地连接有压轮，压轮上侧与定位平台相平齐，旋转座上还固定连接有弧形切割刀，切割刀的上侧刀刃可对应伸入切割槽内。本发明能够将底膜自动切割成圆形，并将外定位框环固定在底膜上表面的边缘。 | ||
| 搜索关键词： | 定位平台 定位框 底膜 旋转座 转动辊组 旋转臂 旋转盘 半导体加工领域 均匀间隔分布 弧形切割刀 环形切割 上侧刀刃 同轴设置 自动切割 地连接 机壳体 可移动 可转动 切割槽 切割刀 上表面 传动 平齐 伸入 外周 吸环 压轮 有压 | ||
【主权项】：
1.一种外定位框环贴底膜装置，其特征在于，包括机壳体，所述机壳体内设有圆形定位平台，与定位平台相对应的前后两侧均设有转动辊组，两转动辊组之间纵向设有具有粘性的传动底膜，传动底膜的宽度大于定位平台的直径，定位平台上方对应设有可移动的吸环，外定位框环吸附在吸环下方，外定位框环与定位平台的轴线相重合时，外定位框环的内径小于定位平台的外径，外定位框环的外径大于定位平台的外径，外定位框环下侧开设有环形切割槽；所述定位平台下方同轴设置有旋转盘，旋转盘外周均匀间隔分布设有若干旋转臂，旋转臂端部设有旋转座，旋转座位于定位平台外侧，旋转座上可转动地连接有压轮，压轮轴线沿定位平台径向设置，压轮上侧与定位平台相平齐，旋转座上还固定连接有弧形切割刀，切割刀的上侧刀刃可对应伸入切割槽内，压轮的两端面在轴线方向分别位于切割刀的左右两侧。
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