[发明专利]离子束照射装置在审
| 申请号： | 201910022321.4 | 申请日： | 2019-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN110556281A | 公开（公告）日： | 2019-12-10 |
| 发明（设计）人： | 山元彻朗 | 申请（专利权）人： | 日新离子机器株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/30 | 分类号： | H01J37/30;H01J37/244;G21K5/04 |
| 代理公司： | 72003 隆天知识产权代理有限公司 | 代理人： | 黄艳;李琛 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种离子束照射装置，使在可动式的射束电流计测器(7)中的驱动机构的设计变得简便，同时可逐回从射束计测部位所释放出的二次电子。本发明的离子束照射装置(IM)具有：射束电流计测器(7)，其可在射束轨道(IB)进出而计测射束电流；以及，第一电极(6)，其配置于即将到达射束电流计测器(7)前的射束输送路径上；第一电极(6)兼具为：抑制电极，其将从射束电流计测器(7)所释放出的二次电子逐回至射束电流计测器侧；及，其它的射束光学构件。 | ||
| 搜索关键词： | 射束 电流计 测器 离子束照射装置 第一电极 二次电子 计测 光学构件 驱动机构 射束电流 输送路径 抑制电极 释放 可动式 轨道 配置 | ||
【主权项】：
1.一种离子束照射装置，具有：/n射束电流计测器，其可在射束轨道进出而计测射束电流；以及，/n第一电极，其配置于即将到达所述射束电流计测器前的射束输送路径上；/n所述第一电极兼具为：抑制电极，其将从所述射束电流计测器所释放出的二次电子逐回至射束电流计测器侧；以及，其它的射束光学构件。/n
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