[发明专利]激光跟踪测量系统及方法在审
| 申请号： | 201910025848.2 | 申请日： | 2019-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN109725325A | 公开（公告）日： | 2019-05-07 |
| 发明（设计）人： | 纪荣祎;张滋黎;王国名;周维虎;董登峰;劳达宝;崔成君;潘映伶;袁江;石俊凯;程智;高书苑 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G01S17/66 | 分类号： | G01S17/66 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种激光跟踪测量系统及方法，激光跟踪测量系统，包括：激光器、分光镜、第一振镜、第二振镜、位置探测器和跟踪控制模块，其中，激光器产生的激光经过分光镜射向第一振镜，由第一振镜反射后射向第二振镜，由第二振镜反射后射向探测目标，探测目标反射回的激光光束依次通过第二振镜、第一振镜、以及分光镜反射至位置探测器；所述跟踪控制模块，用于获取第一振镜和第二振镜的角度信息、位置探测器中的位置信息，并发出振镜偏转角度控制信号控制第一振镜和第二振镜进行偏转使得激光射向位置变动后的探测目标，实现对探测目标的动态实时跟踪。该系统具有探测实时、准确度高、精度高、小型化和成本低的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 振镜 探测目标 激光跟踪测量系统 位置探测器 跟踪控制模块 偏转 振镜反射 激光器 分光镜 激光 角度控制信号 分光镜反射 动态实时 激光光束 角度信息 位置变动 准确度 反射 探测 跟踪 | ||
【主权项】：
1.一种激光跟踪测量系统，其特征在于，包括：激光器(11)、分光镜(12)、第一振镜(13)、第二振镜(15)、位置探测器(18)和跟踪控制模块(19)，其中，激光器(11)产生的激光经过分光镜(12)射向第一振镜(13)，由第一振镜(13)反射后射向第二振镜(15)，由第二振镜(15)反射后射向探测目标(17)，探测目标(17)反射回的激光光束依次通过第二振镜(15)、第一振镜(13)、以及分光镜(12)反射至位置探测器(18)；所述跟踪控制模块(19)，用于获取第一振镜(13)和第二振镜(15)的角度信息、位置探测器(18)中的位置信息，并发出振镜偏转角度控制信号控制第一振镜(13)和第二振镜(15)进行偏转使得激光射向位置变动后的探测目标(17)，实现对探测目标(17)的动态实时跟踪。
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