[发明专利]一种范德瓦尔斯异质结型光电探测器及制备方法有效

专利信息
申请号: 201910028647.8 申请日: 2019-01-11
公开(公告)号: CN109817808B 公开(公告)日: 2021-01-29
发明(设计)人: 王军;蔡明;史佳欣;张云逵;刘德幸;牛青辰 申请(专利权)人: 电子科技大学
主分类号: H01L51/42 分类号: H01L51/42;H01L51/46;H01L51/48
代理公司: 成都聚蓉众享知识产权代理有限公司 51291 代理人: 张辉
地址: 610000 四川省成*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 发明涉及光电探测技术领域,且公开了一种范德瓦尔斯异质结型光电探测器及制备方法,包括衬底和所述衬底的顶部固定安装有与底栅电极顶部连接的介质层。因为N型半导体MoS2、P型有机半导体薄膜材料和石墨烯薄膜在可见光波段到近红外波段有直接吸收保障器件宽光谱探测;而N型半导体MoS2具有较大电阻有效抑制器件暗电流,同时N型半导体MoS2与P型有机半导体薄膜材料形成的异质结区能够有效分离光生载流子,从而实现器件高响应率,而表面层石墨烯作为高速透明电荷传输通道提高器件响应速度,从而本发明中光电器件相比已有MoS2光电探测器具有响应波段宽、响应率高、响应速度较快等特点。
搜索关键词: 一种 瓦尔 斯异质结型 光电 探测器 制备 方法
【主权项】:
1.一种范德瓦尔斯异质结型光电探测器及制备方法,包括衬底(7)和所述衬底(7)的顶部固定安装有与底栅电极(1)顶部连接的介质层(2),其特征在于:所述介质层(2)的顶部固定安装有一侧位于P型有机半导体薄膜材料(4)内部的N型半导体MoS2(3),所述P型有机半导体薄膜材料(4)的上表面固定安装有石墨烯(5),所述N型半导体MoS2(3)和石墨烯(5)的顶部分别固定安装有金属电极(6)。
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