[发明专利]一种在球面基底上实施软光刻技术的装置及其使用方法有效
| 申请号： | 201910029332.5 | 申请日： | 2019-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN109669324B | 公开（公告）日： | 2021-12-24 |
| 发明（设计）人： | 张登英;赵风周;张立春;张孟龙;黄玉鹏 | 申请（专利权）人： | 鲁东大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 264025 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种在球面基底上实施软光刻技术的装置及其使用方法，涉及微细加工领域，包括：固定支架、固定悬梁、主腔体、主腔体高度调节部、气压表、充气接头。使用时，将PDMS软模板有微纳结构的一面朝外固定好，通过控制主腔体内气压的大小和主腔体的固定高度，使PDMS软模板与涂有固化胶的球面基底实现紧密接触，然后通过加热板固化胶体，待胶体固化后将球面基底与PDMS软模板分离，此时便在球面基底上制得微纳结构。本发明装置易于加工，操作方便，使用方法简单，能够满足在不同口径、不同曲率半径球面基底上实施软光刻技术的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 球面 基底 实施 光刻 技术 装置 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
1.一种在球面基底上实施软光刻技术的装置，其特征在于，包括：固定支架（1）、固定悬梁（2）、主腔体（3）、主腔体高度调节部（4）、气压表（5）、充气接头（6）；所述主腔体（3）上连接气压表（5）和充气接头（6）；所述主腔体（3）是由PDMS软模板承载部（7）和PDMS软模板固定部（8）两部分组成；所述主腔体（3）通过背面紧固螺丝（11）与固定悬梁（2）连接；所述主腔体（3）正面开有圆柱形空腔。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于鲁东大学，未经鲁东大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910029332.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种基于共振腔结构实现大面积超分辨光刻方法
- 下一篇：一种光刻对准方法
