[发明专利]基于WO3/Pd复合膜的锥型光纤光栅氢气传感器在审
| 申请号： | 201910029766.5 | 申请日： | 2019-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN109580544A | 公开（公告）日： | 2019-04-05 |
| 发明（设计）人： | 沈常宇;陈宏晨 | 申请（专利权）人： | 中国计量大学 |
| 主分类号： | G01N21/41 | 分类号： | G01N21/41;C01G41/02;C23C14/35;C23C14/08;C23C14/06;C23C14/18 |
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| 地址： | 310018 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了基于WO3/Pd复合膜的锥型光纤光栅氢气传感器，由光纤光栅解调仪、计算机、气体流量控制阀、气室、氢气瓶、氮气瓶、WO3/Pd复合膜、光纤耦合器、氢气检测仪、光纤、参考光栅、锥型光纤光栅、光纤光栅、光源；其中锥型光纤光栅上面镀有WO3/Pd复合膜。采用射频溅射技术向锥型光纤光栅溅5nmWO3薄膜,再利用共溅射技术溅射5nmWO3/Pd混合膜，最后用直流溅射技术溅射30nm的Pd薄膜。WO3/Pd复合薄膜具有较好的机械性能，提高光纤光栅氢气传感器的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 光栅 锥型光纤 复合膜 氢气传感器 光纤光栅 溅射 薄膜 机械性能 光纤光栅解调仪 气体流量控制阀 光纤耦合器 氢气检测仪 参考光栅 复合薄膜 射频溅射 直流溅射 氮气瓶 共溅射 混合膜 氢气瓶 再利用 气室 光源 光纤 计算机 | ||
【主权项】：
1.基于WO3/Pd复合膜的锥型光纤光栅氢气传感器，由光纤光栅解调仪(1)，计算机(2)，气体流量控制阀(3)，气室(4)，光纤耦合器(5)，氢气瓶(6)，氮气瓶(7)，WO3/Pd复合膜(8)，光纤(9)，参考光栅(10)，锥型光纤光栅(11)，光纤光栅(12)，光源(13)组成；其特征在于：计算机(2)与光纤光栅解调仪(1)右端连接，光纤光栅解调仪(1)左端与光纤耦合器(5)右端连接，光纤耦合器(5)左端与光纤(9)右端连接，光纤(9)左端与参考光栅(10)右端连接，参考光栅(10)的中心波长为1550nm，参考光栅(10)左端与锥型光纤光栅(11)右端连接，锥型光纤光栅(11)中心波长为1299.576nm，镀有WO3/Pd复合膜(8)，WO3/Pd复合膜(8)的厚度为40nm，锥型光纤光栅(11)左端与光纤光栅(12)右端连接，光纤光栅(12)的中心波长为1540nm，光纤光栅(12)表面镀有Pd/Au复合膜，Pd/Au复合膜的厚度为200nm，光纤光栅(12)左端与光源(13)连接,气室(4)与氢气瓶(6)和氮气瓶(7)连接，氢气浓度发生变化时，光纤光栅(12)和锥型光纤光栅(11)的中心波长都会发生漂移，通过比较他们的漂移差，可以测得氢气浓度及其变化量。
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