[发明专利]缺陷检查装置、缺陷检查方法以及计算机可读记录介质有效
| 申请号： | 201910030739.X | 申请日： | 2019-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN110274908B | 公开（公告）日： | 2022-01-11 |
| 发明（设计）人： | 池田泰之;栗田真嗣 | 申请（专利权）人： | 欧姆龙株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/956 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨文娟;臧建明 |
| 地址： | 日本京都府京都市下京区盐小路通堀川东*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种缺陷检查装置、缺陷检查方法以及计算机可读记录介质。缺陷检查装置包括：获取部，获取检查对象物的检查图像；图像生成部，通过对检查图像适用以使用学习用的图像数据提取一个以上的特征的方式进行了事先学习的已学习识别器，而生成一个以上的特征提取图像；检查部，基于用以判定检查对象物中有无检测对象部位的一个以上的判定用参数及基于特征提取图像而生成的二值化图像来确定与缺陷对应的区域；以及设定部，使用确定了与缺陷对应的区域的二值化图像即设定用图像，算出基于设定用图像的像素的颜色的浓度的图像得分，并以使区域的内部的图像得分与区域的外部的图像得分之差相对变大的方式更新判定用参数。 | ||
| 搜索关键词： | 缺陷 检查 装置 方法 以及 计算机 可读 记录 介质 | ||
【主权项】：
1.一种缺陷检查装置，其特征在于，包括：获取部，获取检查对象物的检查图像；图像生成部，通过对所述检查图像适用以使用学习用的图像数据提取一个以上的特征的方式进行了事先学习的已学习识别器，而生成一个以上的特征提取图像；检查部，基于用以判定所述检查对象物中有无缺陷的一个以上的判定用参数及基于所述特征提取图像而生成的二值化图像来确定与所述缺陷对应的区域；以及设定部，使用确定了与所述缺陷对应的所述区域的所述二值化图像即设定用图像，算出基于所述设定用图像的像素的颜色的浓度的图像得分，并以使所述区域的内部的图像得分与所述区域的外部的图像得分之差相对变大的方式更新所述判定用参数。
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