[发明专利]具有应变通道的晶体管及其制作方法有效
| 申请号： | 201910030931.9 | 申请日： | 2019-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN111435684B | 公开（公告）日： | 2023-05-23 |
| 发明（设计）人： | 杨柏宇 | 申请（专利权）人： | 联华电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/78 | 分类号： | H01L29/78;H01L21/336 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开一种具有应变通道的晶体管及其制作方法，该半导体元件包含：一基底，具有一上表面；一源极区域，设于该基底中；一漏极区域，设于该基底中；一凹槽，介于该源极区域与该漏极区域之间，从该基底的该上表面延伸进入该基底中，其中该凹槽具有一六角形剖面轮廓；一应力诱发材料层，设于该凹槽内；一通道层，设于该应力诱发材料层上；以及一栅极结构，设于该通道层上。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 应变 通道 晶体管 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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