[发明专利]一种可控长径比的钨丝针尖的制备装置及制备方法有效
| 申请号： | 201910031212.9 | 申请日： | 2019-01-11 |
| 公开（公告）号： | CN109706515B | 公开（公告）日： | 2020-02-28 |
| 发明（设计）人： | 郑磊;黄钊;刘华荣;王学慧;程协 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第三十八研究所 |
| 主分类号： | C25F3/08 | 分类号： | C25F3/08;C25F7/00 |
| 代理公司： | 合肥昊晟德专利代理事务所(普通合伙) 34153 | 代理人： | 王林 |
| 地址： | 230000 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种可控长径比的钨丝针尖的制备装置及制备方法，包括电动位移装置、电化学池、控制电路；所述电动位移装置固定待制备钨丝并可控制调节所述待制备钨丝在所述电化学池内的位置使所述待制备钨丝在所述电化学池内做提拉往复振动，所述控制电路与所述电动位移装置、所述电化学池连接形成刻蚀电路从而实现对所述电化学池内所述待制备钨丝的刻蚀；本发明利用提拉往复振动对所述待制备钨丝进行电化学刻蚀加工，通过所述提拉往复振动使电化学刻蚀产生的电化学产物加快向所述电解液中扩散，减小所述待制备钨丝端部形成区域的局部电化学产物浓度，以破坏抑制电化学反应速度的扩散层的形成，从而可提高电化学刻蚀的加工效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 可控 长径 钨丝 针尖 制备 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种可控长径比的钨丝针尖的制备装置，其特征在于，包括电动位移装置、电化学池、控制电路；所述电动位移装置固定待制备钨丝并可控制调节所述待制备钨丝在所述电化学池内的位置使所述待制备钨丝在所述电化学池内做提拉往复振动，所述控制电路与所述电动位移装置、所述电化学池连接形成刻蚀电路从而实现对所述电化学池内所述待制备钨丝的刻蚀；所述电动位移装置包括电动滑台、步进电机驱动器、步进电机控制器、手动滑台、L型支架、测微头和针尖夹具，所述步进电机驱动器通过所述步进电机控制器连接所述电动滑台上的步进电机，所述步进电机驱动器和所述步进电机控制器带动并控制所述电动滑台做竖直方向的上下移动，所述手动滑台固定在所述电动滑台上，所述手动滑台通过所述L型支架固定连接所述针尖夹具；所述针尖夹具固定所述待制备钨丝。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国电子科技集团公司第三十八研究所，未经中国电子科技集团公司第三十八研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910031212.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
