[发明专利]一种高功率半导体叠阵空间合束的方法及装置

摘要

本发明公开了一种高功率半导体叠阵空间合束的方法及装置，采用填充二极管阵列之间的发光空隙，对单个半导体叠阵进行空间合束，因此将半导体叠阵发光区域总体分为上下两部分。将b个半导体阵列中的x个和y个，由y个阵列激光直接通过条纹镜透射区透射，而由x个阵列对应的激光通过条纹镜和反射镜反射后，再次透过条纹镜最下方透射区透射，与y个阵列产生的激光进行位置交换，并整体向下偏移，而a个阵列产生的激光通过反射镜和条纹镜反射区反射后，穿插在透射光间隔之中。通过移动阵列的个数，可增加条纹镜厚度，而空间合束的激光功率密度可成倍提高，对条纹镜的厚度无限制。本方法克服了半导体叠阵数量及功率的限制，从而实现高功率合束。

主权项

1.一种高功率半导体叠阵空间合束的装置，其特征在于：包括一个半导体叠阵(1)，条纹镜(2)，第一平面反射镜(3)和第二平面反射镜(4)；半导体叠阵(1)分为上部分和下部分；激光由水平放置的半导体叠阵发出，上部分a个半导体阵列产生的激光，直接照射到与水平成45°放置的第一平面反射镜(3)上，向下反射至与水平成45°放置的条纹镜(2)的第二镜面，照射到设置有45°高反膜区域，进行二次反射输出；下部分b个半导体阵列产生的激光，直接照射到条纹镜(2)的第一镜面上，第一镜面的上部分设置有45°高反膜，下部分设置有45°增透膜，再次将b个阵列产生的激光分为x个和y个，x个阵列产生的激光经过第一镜面设置有高反膜区域的反射，向下反射至第二平面反射镜(4)，再次反射至条纹镜(2)第一镜面设置有增透膜区域，透过条纹镜(2)，从第二镜面设置有增透膜区域输出；y个阵列产生的激光则照射到条纹镜(2)增透膜区域，直接透射过条纹镜，从第二镜面增透膜区域输出。