[发明专利]材料清洗方法、装置及控制器

摘要

本发明提供了一种材料清洗方法、装置及控制器，涉及材料清洗的技术领域，能够在监测到待清洗材料固定到工作台时，获取工作台的运行参数，根据运行参数控制工作台带动待清洗材料水平旋转；获取IPA电机参数，其中，IPA电机参数包括：IPA电机的运动起点，运动终点，运行频率，运动分区的数量以及每个运动分区的运行时间；根据IPA电机参数控制IPA电机在每个运动分区运行；获取IPA电机运行时的工作状态信息，其中，工作状态信息包括IPA电机的运动方向，以及当前IPA电机所处的运动分区；根据工作状态信息，控制开关阀的开关状态，有效缓解了因IPA工艺中N2和IPA抽出的位置为晶圆的中心，易造成边缘清洗不干净的技术问题。

主权项

1.一种材料清洗方法，其特征在于，所述方法应用于清洗台的控制器，所述清洗台包括工作台和IPA电机，所述工作台上固定有待清洗材料，在垂直于所述IPA电机的下方设有IPA喷头，所述IPA喷头还设有开关阀，所述控制器与所述工作台、所述IPA电机以及所述开关阀通讯连接；所述方法包括：如果监测到所述待清洗材料固定到所述工作台，获取所述工作台的运行参数，根据所述运行参数控制所述工作台带动所述待清洗材料水平旋转；获取IPA电机参数，其中，所述IPA电机参数包括：所述IPA电机的运动起点，运动终点，运行频率，运动分区的数量以及每个所述运动分区的运行时间；根据所述IPA电机参数控制所述IPA电机在每个所述运动分区运行；获取所述IPA电机运行时的工作状态信息，其中，所述工作状态信息包括所述IPA电机的运动方向，以及当前所述IPA电机所处的所述运动分区；根据所述工作状态信息，控制所述开关阀的开关状态。