[发明专利]阀系统

摘要

提供一种阀系统，能够防止在利用负压抽吸气体时流入口以及流出口被隔膜层堵塞。第1流路(51)，与流入口(23)连接，使气体流入微型阀(1)内。第2流路(52)，与流出口(24)连接，使气体从微型阀(1)内流出。第3流路(53)，使气动流体流入至微型阀(1)内。负压产生机构(泵(61))，通过在第2流路(52)一侧产生负压，经由微型阀(1)将气体从第1流路(51)抽吸至第2流路(52)一侧。压力调整机构(连接流路(50)以及阀(63))，通过减小第2流路(52)内与第3流路(53)内的压力差，防止流入口(23)以及流出口(24)因在所述第2流路(52)一侧产生的负压被所述隔膜层(3)堵塞。

主权项

1.一种阀系统，其特征在于，具备：微型阀，具有层叠有基台层、覆盖层以及隔膜层的层叠结构，所述基台层形成有气体的流入口以及流出口，所述覆盖层与所述基台层相对置，所述隔膜层设置于所述基台层与所述覆盖层之间，随着气动流体的流入而弹性变形，由此堵塞所述流入口以及所述流出口；第1流路，与所述流入口连接，使气体流入至所述微型阀内；第2流路，与所述流出口连接，使气体从所述微型阀内流出；第3流路，使气动流体流入至所述微型阀内；负压产生机构，通过在所述第2流路一侧产生负压，经由所述微型阀将气体从所述第1流路抽吸至所述第2流路一侧；压力调整机构，通过减小所述第2流路内与所述第3流路内的压力差，防止所述流入口以及所述流出口因在所述第2流路一侧产生的负压而被所述隔膜层堵塞。