[发明专利]三通道微波功率传感器

摘要

本发明提出三通道微波功率传感器，采用MEMS平面加工工艺，具有体积小，集成度高等优点。三通道包括电阻式、电容式和热电式，利用电阻式传感器，可以极大地提高待测微波信号的功率范围，在微波信号较弱的时候通过热电式传感器，在微波信号较强的时候通过电容式传感器，在微波信号很强的时候通过电阻式传感器，通过对微波信号进行分通道测量可以提高检测信号的精度。综上所述，本三通道微波功率传感器具有精度高、测量范围大、灵敏度高等优点。

主权项

1.三通道微波功率传感器，包括衬底、共面波导传输线、地线、电容极板、敏感元件、悬臂梁、负载电阻和热电堆，其特征在于：所述共面波导传输线设置在衬底上，其两侧设有地线，其中一侧的地线连接有地线输出端；所述共面波导传输线的末端与其中一侧的地线之间连接负载电阻，所述负载电阻的另一侧设有热电堆，所述热点堆的两端分别与直流输出端相连；所述敏感元件嵌入衬底中位于共面波导传输线的下面，所述敏感元件上设有探头，其穿过共面波导传输线使得敏感元件与外界相连；所述敏感元件下方还有一个矩形的金属薄膜嵌入在衬底中与共面波导传输线相平行；所述悬臂梁设置在共面波导传输线的上方，在悬臂梁的下面设置电容极板，所述电容极板具体位于悬臂梁底座和共面波导传输线之间，并连接有电容信号输出端。