[发明专利]一种高金合金键合丝的制备方法有效

专利信息
申请号: 201910036965.9 申请日: 2019-01-15
公开(公告)号: CN109767991B 公开(公告)日: 2022-05-31
发明(设计)人: 彭庶瑶;周鹏;彭晓飞 申请(专利权)人: 江西蓝微电子科技有限公司
主分类号: H01L21/48 分类号: H01L21/48;H01L23/49;C22C5/02;C22C1/03;C22F1/14
代理公司: 南昌洪达专利事务所 36111 代理人: 刘凌峰
地址: 343000 江*** 国省代码: 江西;36
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摘要: 发明公开了一种高金合金键合丝的制备方法,所述方法包括制备成高金合金铸棒,再制成铸态高金合金母线,将母线拉制成1mm左右的高金合金丝,经热处理后,再经精密拉拔、热处理、清洗后制成不同规格的高金合金键合丝。本发明制备出来的高金合金键合丝具有良好抗氧化性和成球性、优异的耐腐蚀性、高导电和导热性、高强度和良好的塑性。能够适应电子封装高性能、多功能、微型化的需求。
搜索关键词: 一种 合金 键合丝 制备 方法
【主权项】:
1.一种高金合金键合丝的制备方法,其特征在于:所述方法包括以下步骤,1)将80%5N高纯金和20%4N纯银在真空合金熔炼炉中,抽低真空至1.1‑0Mpa后打开扩散泵加温半小时,抽高真空至4.7‑3Mpa后,充入5N高纯氩气;在进行抽低真空至1.1‑0Mpa后打开扩散泵加温半小时,抽高真空至4.7‑3Mpa后,进行两次高纯氩气洗炉过冲,使得真空腔内纯净后,充入高纯氩至‑0.05Mpa后,关闭真空泵,开始加温;2)用5‑8安培输出电流升温,3‑6分钟后将输出电流调整到8‑10.5安培,当电流达到9‑12安培后,石墨坩埚内溶液熔化,搅拌3‑8分钟,使金和银原料充分固溶形成合金材料,静置10分钟后,停止加热;待金银合金冷却后取出金银合金备用;3)将制作好的金银合金放入真空连铸炉石墨坩埚内,将钴、铜、铁、铂、钯、锡、锌一并加入;盖上炉盖,进行抽真空;抽低真空至1.1‑0Mpa后打开扩散泵加温半小时,抽高真空至4.7‑3Mpa后,充入高纯氩至0.03‑0.05Mpa后,开始加温;预设温度为1050‑1260度;经过搅拌,静置再搅拌等精炼工艺后,用30mm‑100mm/min速度进行连续拉铸成8mm棒材;4)将拉铸好的8mm高金合金棒通过拉机拉制成多种所需要的成品直径;5)将通过所述步骤4)制得的成品按照需求进行退火工艺改变线材的机械性能;6)将退火工序合格后的成品进行绕线,按照要求可以绕制为多种长度的产品;7)将绕制好的高金合金键合丝包装盒内,放入干燥剂,用塑料袋进行抽真空包装。
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