[发明专利]一种MEMS扫描镜

摘要

一种MEMS扫描镜，包括两个压电陶瓷块、两个压电驱动臂、两个横梁两个扭转梁和反射镜面，两个压电陶瓷块之间具有间隔距离，两个压电驱动臂分别设置在两个压电陶瓷块上，两个横梁并联连接在两个压电驱动臂之间，两个扭转梁与反射镜面串联连接在两个横梁之间，且反射镜面连接于两个扭转梁之间；两个压电驱动臂所加电压相反，使得两个压电驱动臂产生相反方向的弯曲，带动反射镜面发生偏转；两个压电陶瓷块所加电压相反，使得两个压电陶瓷块在垂直反射镜面方向产生相反方向的形变带动反射镜面发生偏转，并与压电驱动臂引起的反射镜面的偏转角叠加，放大反射镜面的偏转角。该扫描镜能够实现大偏转角，且体积小、可靠性高、结构和制作工艺简单。

主权项

1.一种MEMS扫描镜，包括反射镜面，其特征在于,还包括两个压电陶瓷块、两个压电驱动臂、两个横梁以及两个扭转梁，所述两个压电陶瓷块之间具有间隔距离，所述两个压电驱动臂分别设置在所述两个压电陶瓷块上，所述两个横梁并联连接在所述两个压电驱动臂之间，所述两个扭转梁与所述反射镜面串联连接在所述两个横梁之间，且所述反射镜面连接于所述两个扭转梁之间；所述两个压电驱动臂所加电压相反，使得所述两个压电驱动臂产生相反方向的弯曲，从而通过所述两个横梁和所述两个扭转梁带动所述反射镜面发生偏转；所述两个压电陶瓷块所加电压相反，使得所述两个压电陶瓷块在垂直所述反射镜面方向产生相反方向的形变，从而通过所述两个横梁和所述两个扭转梁带动所述反射镜面发生偏转，并与所述压电驱动臂引起的所述反射镜面的偏转角叠加，放大所述反射镜面的偏转角。