[发明专利]一种基于低温冷却的金刚石抛光盘

摘要

本发明公开了一种基于低温冷却的金刚石抛光盘。该金刚石抛光盘包括金属盘、隔热垫和转接板，金属盘嵌于隔热垫的上部，隔热垫的下部连接转接板；金属盘内有液氮腔，金属盘上表面开有注入液氮的液氮口，液氮腔内有支撑柱；转接板内有轴孔，用于安装外接电机的转轴。本发明的基于低温冷却的金刚石抛光盘采用液氮低温冷却的方式辅助金属盘抛光金刚石，在抛光过程中不需要添加金刚石磨料，金刚石材料的去除量极小，仅为每小时几十纳米量级。

主权项

1.一种基于低温冷却的金刚石抛光盘，其特征在于：所述的金刚石抛光盘包括金属盘（1）、隔热垫（2）和转接板（3），金属盘（1）嵌于隔热垫（2）的上部，隔热垫（2）的下部连接转接板（3）；所述的金属盘（1）内有液氮腔（5），金属盘（1）上表面开有注入液氮的液氮口（4），液氮腔（5）内有支撑柱（6）；所述的转接板（3）内有轴孔（7），用于安装外接电机的转轴。