[发明专利]采用横向超声振动辅助切割单晶硅的装置及其使用方法

摘要

本发明提出一种采用横向超声振动辅助切割单晶硅的装置及其使用方法，包括机床本体和横向超声振动单元；机床本体包括金刚石线锯单元，金刚石线锯单元包括锯丝；横向超声振动单元包括超声波发生装置、换能器、变幅杆、超声导轮、辅助导轮支架、辅助导轮和试验支架；换能器与变幅杆相连接；超声导轮安装在变幅杆的一端，并且超声导轮与锯丝相接触；变幅杆另一端与超声波发生装置连接；变幅杆与辅助导轮支架均设于试验支架上；并且变幅杆与辅助导轮支架相对设置；辅助导轮设于辅助导轮支架上，并且辅助导轮与锯丝相接触，起到辅助支撑的作用，提出一种将金刚石线锯与超声振动辅助加工相结合的采用横向超声振动辅助切割单晶硅的装置及其使用方法。

主权项

1.一种采用横向超声振动辅助切割单晶硅的装置，其特征在于，包括机床本体和横向超声振动单元；所述机床本体包括金刚石线锯单元，所述金刚石线锯单元包括锯丝；所述横向超声振动单元包括超声波发生装置、换能器、变幅杆、超声导轮、辅助导轮支架、辅助导轮和试验支架；所述换能器与所述变幅杆相连接；所述超声导轮安装在所述变幅杆的一端，并且所述超声导轮与所述锯丝相接触；所述换能器另一端与超声波发生装置连接；所述变幅杆与所述辅助导轮支架均设于所述试验支架上；并且所述变幅杆与所述辅助导轮支架相对设置；所述辅助导轮设于所述辅助导轮支架上，并且辅助导轮与锯丝相接触，起到辅助支撑的作用。