[发明专利]一种高稳定性多晶硅铸锭方法在审
| 申请号： | 201910042050.9 | 申请日： | 2019-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN109778310A | 公开（公告）日： | 2019-05-21 |
| 发明（设计）人： | 李广森 | 申请（专利权）人： | 安徽华顺半导体发展有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 合肥汇融专利代理有限公司 34141 | 代理人： | 张雁 |
| 地址： | 239300 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种高稳定性多晶硅铸锭方法，涉及多晶硅铸锭技术领域。所述高稳定性多晶硅铸锭方法包括：坩埚的准备、坩埚预热、多晶硅原料热融、长晶、退火、二次退火等步骤。本发明克服了现有技术的不足，提高了多晶硅铸锭的稳定性，减少产品内应力，并且采用精准的温度控制降低产品的杂质，增强生产效益。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶硅铸锭 高稳定性 坩埚 退火 多晶硅原料 二次退火 预热 热融 生产 | ||
【主权项】：
1.一种高稳定性多晶硅铸锭方法，其特征在于，所述多晶硅铸锭方法包括以下步骤：(1)坩埚的准备：选取干净无裂缝的石英坩埚，并在石英坩埚底部和侧边涂覆涂层后备用；(2)坩埚预热：将多晶硅原料加入到石英坩埚中，再将石英坩埚和多晶硅原料进行预热后放入铸锭炉中进行抽真空检漏，再将铸锭炉缓慢升温至1000‑1200℃，静置一段时间；(3)多晶硅原料热融：向坩埚内通入氩气保护后将上述铸锭炉进行快速升温至1620‑1650℃，保温热融一段时间；(4)长晶：将铸锭炉降温至1450℃，保温一段时间后，继续缓慢降温至1400℃，此降温过程持续30‑35h，直至长晶完全；(5)退火：将上述长晶完全后的铸锭炉快速降温至1000‑1150℃，继续保温一段时间；(6)二次退火：将铸锭炉快速降温至800‑820℃后继续缓慢降温至200‑250℃，后常温冷却得加工成型的所述高稳定性多晶硅铸锭。
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