[发明专利]一种多晶硅铸锭硅片清洗设备

摘要

本发明涉及一种多晶硅铸锭硅片清洗设备，包括加工箱体、抛光杆、驱动机、转轴、内箱、集水槽、泵体、电机一、滑轮、传动轴、绳索、电机二、支架、高压喷头、滑块、齿条、齿轮和安装轴，转轴转动连接在加工箱体内部，且与驱动机的输出端传动连接，抛光杆设置在转轴上，内箱位于集水槽上方，两个滑轮对称转动连接在传动轴上，滑轮通过绳索与内箱固定连接，传动轴与电机一的输出端传动连接，齿条通过滑块滑动连接在加工箱体内部，齿轮通过安装轴转动连接在加工箱体内部，高压喷头通过支架与齿条固定连接，本发明结构优良，设计合理，操作简便，消除抛光死角，抛光清洗二合一，具有广泛地应用前景，创造性强。

主权项

1.一种多晶硅铸锭硅片清洗设备，包括装置主体、升降机构(2)和清洗机构(9)，其特征在于：所述装置主体包括加工箱体(1)、抛光轴(3)、驱动机(4)、转轴(5)、内箱(6)、集水槽(7)、泵体(8)和支腿(10)，所述支腿(10)设置在加工箱体(1)下端面，所述驱动机(4)设置在加工箱体(1)顶端面中间位置，所述转轴(5)转动连接在加工箱体(1)内部，且与驱动机(4)的输出端传动连接，所述抛光轴(3)设置在转轴(5)上，所述集水槽(7)设置在加工箱体(1)内部底端面，所述内箱(6)位于集水槽(7)上方；所述升降机构(2)设置在加工箱体(1)内部上侧，所述升降机构(2)包括电机一(21)、滑轮(22)、传动轴(23)和绳索(24)，所述传动轴(23)转动连接在加工箱体(1)内部靠上部位，所述滑轮(22)设有两个，两个滑轮(22)对称转动连接在传动轴(23)上，所述滑轮(22)通过绳索(24)与内箱(6)固定连接，所述传动轴(23)与电机一(21)的输出端传动连接；所述清洗机构(9)包括辅助清洁组件(91)和电机二(92)，所述电机二(92)设置在加工箱体(1)底端面，所述辅助清洁组件(91)设有两个，两个所述辅助清洁组件(91)对称设置在加工箱体(1)内部，所述辅助清洁组件(91)包括支架(911)、高压喷头(912)、滑块(913)、齿条(914)、齿轮(915)和安装轴(916)，所述齿条(914)通过滑块(913)滑动连接在加工箱体(1)内部，所述齿轮(915)通过安装轴(916)转动连接在加工箱体(1)内部，所述齿轮(915)的齿槽与齿条(914)的齿槽相啮合，所述高压喷头(912)铜鼓支架(911)与齿条(914)固定连接。