[发明专利]一种固体感光树脂版的热固化装置在审
申请号: | 201910042200.6 | 申请日: | 2019-01-17 |
公开(公告)号: | CN109709777A | 公开(公告)日: | 2019-05-03 |
发明(设计)人: | 黃子祐 | 申请(专利权)人: | 仓和精密制造(苏州)有限公司;仓和股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/40 | 分类号: | G03F7/40 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种固体感光树脂版的热固化装置,包括:设于平置固体感光树脂版正下方的平置加热板,设于加热板顶面、且外沿形状与平置固体感光树脂版外沿形状相同的平置铜板,设于铜板顶面、且用于架空支承平置固体感光树脂版边框的平置环形金属管,以及设于加热板顶面、且用于框住平置固体感光树脂版的平置隔热框,该隔热框套装在铜板外周,且隔热框的内沿与铜板的外沿贴靠。本发明固体感光树脂版的热固化装置,其能对固体感光树脂版进行热固化处理。 | ||
搜索关键词: | 固体感光树脂版 平置 铜板 热固化装置 隔热框 加热板 顶面 外沿 边框 环形金属管 热固化处理 框住 贴靠 外周 架空 | ||
【主权项】:
1.一种固体感光树脂版的热固化装置,其特征在于,包括:设于平置固体感光树脂版正下方的平置加热板,设于加热板顶面、且外沿形状与平置固体感光树脂版外沿形状相同的平置铜板,设于铜板顶面、且用于架空支承平置固体感光树脂版边框的平置环形金属管,以及设于加热板顶面、且用于框住平置固体感光树脂版的平置隔热框,该隔热框套装在铜板外周,且隔热框的内沿与铜板的外沿贴靠;所述环形金属管外接一对冷却液输送管,该对冷却液输送管包括:向环形金属管供应冷却液的供液管,以及用于接收环形金属管所输出冷却液的回液管;供液管、回液管以环形金属管对称设置;供液管贯穿隔热框并与冷却液供应装置连通,冷却液供应装置通过供液管向环形金属管供应冷却液;回液管贯穿隔热框并与冷却液回收装置连通,冷却液回收装置通过回液管接收从环形金属管输出的冷却液;供液管上设有流量调节阀,流量调节阀位于隔热框外部;所述铜板的外沿上设有:用于检测铜板温度的温度传感器;隔热框的内沿设有:用于容纳温度传感器的安装槽;温度传感器设于安装槽中。
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