[发明专利]单芯片多敏感单元的中心轴对称MEMS陀螺仪有效
| 申请号： | 201910042589.4 | 申请日： | 2019-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN109839104B | 公开（公告）日： | 2022-10-11 |
| 发明（设计）人： | 郭述文;周铭;樊波 | 申请（专利权）人： | 苏州大学 |
| 主分类号： | G01C19/04 | 分类号： | G01C19/04 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 范晴;丁浩秋 |
| 地址： | 215000 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种单芯片多敏感单元的中心轴对称MEMS陀螺仪，包括中心轴对称谐振陀螺仪本体，所述中心轴对称谐振陀螺仪本体包括至少两个敏感单元，所述敏感单元包括谐振环和电极，所述敏感单元呈径向分布且几何中心重合，所述敏感单元通过锚点连接，所述敏感单元的直径不同，所述敏感单元工作于不全相同的工作模式和振动模态，对每个敏感单元输出的信号进行分别处理，然后再进行数据融合。在一个芯片中集成多个敏感单元，各个敏感单元基于各自的工作模式分别工作于各自的振动模态，可以对输出信息进行融合或合并，从而大大提高性能。 | ||
| 搜索关键词： | 芯片 敏感 单元 中心 轴对称 mems 陀螺仪 | ||
【主权项】：
1.一种单芯片多敏感单元的中心轴对称MEMS陀螺仪，包括中心轴对称谐振陀螺仪本体，其特征在于，所述中心轴对称谐振陀螺仪本体包括至少两个敏感单元，所述敏感单元包括谐振环和电极，所述敏感单元呈径向分布且几何中心重合，所述敏感单元通过锚点连接，所述敏感单元的直径不同，所述敏感单元工作于不全相同的工作模式和振动模态，对每个敏感单元输出的信号进行分别处理，然后再进行数据融合。
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