[发明专利]蒸发镀膜设备、蒸发镀膜系统及蒸发镀膜控制方法在审
| 申请号： | 201910042940.X | 申请日： | 2019-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN111455342A | 公开（公告）日： | 2020-07-28 |
| 发明（设计）人： | 王正安;郭逦达;丁友谊;赵树利 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 马永芬 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种蒸发镀膜设备、蒸发镀膜系统和控制方法，其中，该设备包括：多个蒸发源，呈阵列排布；多个加热装置，与蒸发源一一对应；多个蒸发量监控装置，与蒸发源一一对应，设置于蒸发源上方，用于检测当前蒸发量；控制装置，分别与蒸发量监控装置和加热装置连接，用于调整加热装置的加热量进而分别调整蒸发量。该系统中蒸发源呈阵列分布，每一个蒸发源设置一个加热装置，并且在其上方设置蒸发量监控装置，从而控制器可分别对每一个加热装置的加热量进行调整，进而单独调整每一个蒸发源的蒸发量，调节过程更加精确，使得蒸镀的膜层厚度均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发 镀膜 设备 系统 控制 方法 | ||
【主权项】：
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