[发明专利]基于石墨烯-金属异质结的气体传感器阵列及其制备方法在审
| 申请号： | 201910043643.7 | 申请日： | 2019-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN109632906A | 公开（公告）日： | 2019-04-16 |
| 发明（设计）人： | 李全福;朱小虎;张祺;刘卫华;彭慧玲;刘林生;宋辉;李廷会;汪海船 | 申请（专利权）人： | 广西师范大学 |
| 主分类号： | G01N27/30 | 分类号： | G01N27/30 |
| 代理公司： | 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 | 代理人： | 石燕妮 |
| 地址： | 541004 广西壮*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种能够检测气体种类和相应气体的浓度；并且响应速率快，识别率高的基于石墨烯‑金属异质结的气体传感器阵列及其制备方法。该气体传感器阵列包括基底和形成在所述基底上的多组基于石墨烯‑金属异质结的电阻式气体传感器；所述气体传感器阵列的制备方法包括步骤S1、在基底上加工出金属电极阵列和导电引线；S2、将石墨烯转移到制有金属电极阵列的基底上；S3、利用等离子体刻蚀，将基底上多余的石墨烯刻蚀掉，形成电阻式气体传感器；S4、利用磁控溅射镀膜，加工出气体传感器顶层的覆盖层。采用该基于石墨烯‑金属异质结的气体传感器阵列及其制备方法，在矿井作业，食品安全检测，环境监测、机器人电子鼻等方面有较好的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 石墨烯 气体传感器阵列 基底 金属异质结 制备 气体传感器 金属电极阵列 电阻式 磁控溅射镀膜 等离子体刻蚀 食品安全检测 导电引线 矿井作业 电子鼻 覆盖层 识别率 顶层 刻蚀 环境监测 加工 机器人 检测 响应 应用 | ||
【主权项】：
1.基于石墨烯‑金属异质结的气体传感器阵列，其特征在于：包括SiO2/Si基底(8)；所述SiO2/Si基底(8)上表面的中间位置设置有主线路(10)；所述主线路(10)的两端均设置有第一接线端子(11)；所述主线路(10)两侧均设置有电阻式传感器；所述电阻式传感器包括金属电极、金属电极上的石墨烯薄膜(9)以及顶层的金属覆盖层(12)；所述金属电极均包括两个电极单元，两个电极单元上表面设置有连续的石墨烯薄膜(9)；两个电极单元间隙正上方的石墨烯薄膜上表面设置有金属覆盖层(12)；两个电极单元中的一个电极单元与主线路(10)连通，另一个电极单元设置有第二接线端子(7)。
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