[发明专利]一种非接触式样品加工表面倾角及厚度微小变化测量方法有效
| 申请号： | 201910044267.3 | 申请日： | 2019-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN109655015B | 公开（公告）日： | 2020-08-18 |
| 发明（设计）人： | 朱杰;蒋成龙;穆宝忠 | 申请（专利权）人： | 同济大学 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26;G01B11/06 |
| 代理公司： | 上海科盛知识产权代理有限公司 31225 | 代理人： | 翁惠瑜 |
| 地址： | 200092 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种非接触式样品加工表面倾角及厚度微小变化测量方法，该方法具体为：在样品加工前后，控制两束具有相同角度及高度的激光对称入射至样品加工表面，并反射至PSD(position sensitive detector)传感器光敏层，随着样品在加工过程中厚度或者倾角发生微小的变化，光斑能量中心逐渐发生位移，根据PSD传感器采集的样品加工前后光斑能量中心的变化，获得样品加工表面倾角及厚度变化。与现有技术相比，本发明测量精度高，操作方便简单，并且作为一种非接触式检测方法，对样品表面没有损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 接触 式样 加工 表面 倾角 厚度 微小 变化 测量方法 | ||
【主权项】：
1.一种非接触式样品加工表面倾角及厚度微小变化测量方法，其特征在于，该方法具体为：在样品加工前后，控制两束具有相同角度及高度的激光对称入射至样品加工表面，并反射至PSD传感器光敏层，根据PSD传感器采集的样品加工前后光斑能量中心的变化，获得样品加工表面倾角及厚度变化。
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