[发明专利]基于图像扫描的谐波共焦显微测量方法在审
| 申请号： | 201910044664.0 | 申请日： | 2019-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN109884051A | 公开（公告）日： | 2019-06-14 |
| 发明（设计）人： | 王伟波;吴必伟;刘俭;谭久彬 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01N21/84 | 分类号： | G01N21/84 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 150001 黑*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 基于图像扫描的谐波共焦显微测量方法属于非线性光学测量领域；在谐波显微测量中，用位置敏感CCD探测代替传统共焦扫描显微中的点探测，可将谐波显微测量分辨率提升两倍。飞秒激光脉冲经扫描振镜反射后进入4f光学系统进行光束整形，接着由显微物镜会聚在样品内部形成谐波信号发生所需的激发聚焦光斑。样品激发出的谐波信号，被显微物镜收集后再一次进入4f系统。信号经二向分色镜分离后，基频信号进入光束诊断相机；谐波信号依次经过共焦针孔和窄带滤光片后被位置敏感CCD接收。对于每一个扫描位置，整个图像均被位置敏感CCD记录，通过算法合成所有扫描位置记录的图像，可以提升谐波显微成像分辨率。 | ||
| 搜索关键词： | 谐波 谐波信号 共焦显微测量 扫描位置 图像扫描 显微测量 显微物镜 敏感 图像 针孔 飞秒激光脉冲 二向分色镜 非线性光学 分辨率提升 窄带滤光片 测量领域 共焦扫描 光束诊断 光束整形 基频信号 聚焦光斑 扫描振镜 算法合成 显微成像 样品激发 分辨率 共焦 显微 反射 会聚 探测 相机 激发 记录 | ||
【主权项】：
1.基于图像扫描的谐波共焦显微测量方法，用位置敏感CCD探测代替传统谐波共焦扫描显微中的点探测。飞秒激光脉冲经扫描振镜反射后进入4f光学系统进行经光束整形，接着由显微物镜会聚在样品内部形成谐波信号发生所需的激发聚焦光斑。样品激发出的谐波信号，被显微物镜收集后再一次进入4f系统。信号经二向分色镜分离后，基频信号进入光束诊断相机；谐波信号依次经过共焦针孔和窄带滤光片后被位置敏感CCD接收。其特征在于将带有结构光思想的图像扫描显微方法与谐波显微成像技术有机结合。
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