[发明专利]线宽测量方法

摘要

本发明提供一种线宽测量方法，首先获取显示基板的图像，然后根据图像的灰度信息获取待测线路的相对两侧边缘的边缘位置，最后根据边缘位置获取待测线路的线宽，其中，获取待测线路一侧边缘的边缘位置的过程具体为：在图像的扫描区域沿着扫描线路进行扫描并进行数据处理，得到亮度横向分布曲线L(X)，设定一阈值亮度，在亮度横向分布曲线L(X)上该阈值亮度对应n个位置坐标，将该n个位置坐标按扫描方向进行排序，设定其中第m个位置坐标为标准边缘位置坐标，本发明的线宽测量方法能够在线宽测量过程中消除产品边缘不整齐、有毛边、与设定图形差异较大或是边缘模糊等不利条件的影响，精确测量线宽，减少了CD测量的错误率，使现有机台测量准确度提升。

主权项

1.一种线宽测量方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤S1、提供具有待测线路的显示基板，摄取显示基板的图像；步骤S2、根据所述图像的灰度信息获取待测线路的相对两侧边缘的边缘位置，然后根据所述边缘位置获取待测线路的线宽；其中，根据所述图像的灰度信息获取待测线路一侧边缘的边缘位置的过程具体为：从所述图像中选出扫描区域，在该扫描区域沿着对应与待测线路的该侧边缘垂直相交的扫描线路进行扫描并进行数据处理，得到亮度横向分布曲线L(X)，得到亮度与位置坐标之间的对应关系，设定一阈值亮度，在亮度横向分布曲线L(X)上该阈值亮度对应n个位置坐标，n为大于1的自然数，将该n个位置坐标按扫描方向进行排序，设定其中第m个位置坐标为标准边缘位置坐标，其中，m为大于等于1小于等于n的自然数，该标准边缘位置坐标即为该侧边缘的边缘位置的位置坐标，从而确定待测线路该侧边缘的边缘位置。