[发明专利]一种利用气体团簇溅射靶材引出离子束流的方法及离子源有效
申请号: | 201910047089.X | 申请日: | 2019-01-18 |
公开(公告)号: | CN109786204B | 公开(公告)日: | 2021-01-26 |
发明(设计)人: | 曾晓梅;瓦西里·帕里诺维奇;谢尔盖·别雷赫;亚历山大·托斯托古佐夫;付德君 | 申请(专利权)人: | 武汉江海行纳米科技有限公司 |
主分类号: | H01J37/34 | 分类号: | H01J37/34;H01J37/08;C23C14/46 |
代理公司: | 武汉华旭知识产权事务所 42214 | 代理人: | 周宗贵;刘荣 |
地址: | 430000 湖北省武汉市武汉东湖新技术开发区光谷大道*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明提供了一种利用气体团簇溅射靶材引出离子束流的方法,首先利用气体团簇离子源产生气体重团簇;接着气体重团簇轰击纳米靶材,溅射出靶物质,包括单体和小团簇;最后溅射出的单体、小团簇与电子碰撞被电离成离子,离子经过电场加速并进行磁质分离获得离子束流。本发明同时提供了一种基于所述方法的气体团簇溅射固体离子源,包括由依次连通的气体团簇离子源管段、溅射室和靶材原子溅射管段组成的真空腔室,所述靶材原子溅射管段依次设有第一离化器、第一加速器、单透镜和电磁铁。本发明提供的一种利用气体团簇溅射靶材引出离子束流的方法及离子源,成本低、安全可靠、无污染,能在不使用铯和钽丝的情况下获得离子束。 | ||
搜索关键词: | 一种 利用 气体 溅射 引出 离子束 方法 离子源 | ||
【主权项】:
1.一种利用气体团簇溅射靶材引出离子束流的方法,其特征在于包括以下步骤:(1)利用气体团簇离子源产生气体重团簇,平均团簇尺寸为1000个原子/团簇;(2)气体重团簇轰击纳米靶材,在气体重团簇的团簇效应和纳米靶材的有限尺寸效应作用下靶物质被有效溅射出,形成单体和小团簇;所述小团簇为靶材原子结合所成的团簇,单个小团簇的原子数介于1到15之间;(3)溅射出的单体和小团簇与电子碰撞被电离成离子,离子经过电场加速并进行磁质分离获得离子束流。
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