[发明专利]基于钙钛矿的超材料太赫兹调制器件及制备方法在审
| 申请号： | 201910048485.4 | 申请日： | 2019-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN109799625A | 公开（公告）日： | 2019-05-24 |
| 发明（设计）人： | 常晶晶;林珍华;杜建辉;苏杰;郝跃 | 申请（专利权）人： | 西安电子科技大学 |
| 主分类号： | G02F1/00 | 分类号： | G02F1/00;G02B1/00 |
| 代理公司： | 陕西电子工业专利中心 61205 | 代理人： | 王品华;张问芬 |
| 地址： | 710071 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高效的钙钛矿超材料太赫兹调制器件及制备方法，主要解决现有太赫兹调制器件灵敏度低和制备工艺复杂的问题。自下而上包括衬底(1)和周期性排布的铝开口谐振环单元(2)，每个铝开口谐振单元的开口为不对称分布的两个，其开口间隙为2‑4μm，每个开口之间填充有厚度为40‑80nm的钙钛矿材料(3)，铝开口谐振环单元(2)的表面也覆盖有同样厚度的钙钛矿材料，使用中，可通过光泵浦改变钙钛矿填充材料的电介质性质来改变等效电容，实现对太赫兹波段的谐振频率和振幅透过率调制。本发明工艺简单，调制灵敏度高，应用场景更宽，可用于短距高速宽带通信、超分辨率武器制导、生物传感、医学成像、材料特性检测和安全检查。 | ||
| 搜索关键词： | 调制器件 钙钛矿 钙钛矿材料 开口谐振环 超材料 灵敏度 制备 调制 开口 不对称分布 电介质性质 太赫兹波段 周期性排布 材料特性 超分辨率 等效电容 高速宽带 开口间隙 开口谐振 生物传感 填充材料 武器制导 谐振频率 医学成像 应用场景 制备工艺 光泵浦 透过率 衬底 短距 可用 安全检查 填充 检测 覆盖 通信 | ||
【主权项】：
1.一种基于钙钛矿的超材料太赫兹调制器件，自下而上包括衬底(1)和周期性排布的铝开口谐振环单元(2)，其特征在于，每个铝开口谐振环单元(2)的开口之间填充有厚度为40‑80nm的钙钛矿材料(3)，铝开口谐振环单元(2)的表面覆盖有厚度为40‑80nm的钙钛矿材料(3)。
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