[发明专利]穿隧式场效晶体管在审
申请号: | 201910048893.X | 申请日: | 2019-01-18 |
公开(公告)号: | CN110797387A | 公开(公告)日: | 2020-02-14 |
发明(设计)人: | 吉尔本·朵尔伯斯;彼德·瑞姆瓦尔;麦特西亚斯·帕斯拉克;卡罗司·迪亚兹 | 申请(专利权)人: | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
主分类号: | H01L29/06 | 分类号: | H01L29/06;H01L29/10;H01L29/739 |
代理公司: | 11006 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人: | 徐金国 |
地址: | 中国台湾新竹市*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 一种穿隧式场效晶体管,包含第一半导体层、第二半导体层以及本质半导体层。第二半导体层位于第一半导体层上。第一半导体层与第二半导体层是相对的导电型态。第二半导体层包含第一侧壁以及第二侧壁,其实质垂直且大于第一侧壁。本质半导体层接触第二半导体层的第二侧壁与第一半导体层。 | ||
搜索关键词: | 半导体层 本质半导体层 第二侧壁 第一侧壁 场效晶体管 导电型态 实质垂直 穿隧 | ||
【主权项】:
1.一种穿隧式场效晶体管,其特征在于,包含:/n一第一半导体层;/n一第二半导体层,位于该第一半导体层上,其中该第一半导体层与该第二半导体层是属于相对的导电型态,且该第二半导体层包含一第一侧壁以及一第二侧壁,该第二侧壁实质垂直于且大于该第一侧壁;以及/n一本质半导体层,接触该第二半导体的该第二侧壁与该第一半导体层。/n
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