[发明专利]一种镀膜机和镀膜控制方法在审
| 申请号： | 201910048962.7 | 申请日： | 2019-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN111455343A | 公开（公告）日： | 2020-07-28 |
| 发明（设计）人： | 潘旋 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54;C23C14/34;C23C14/04 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;黄灿 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种镀膜机和镀膜控制方法。镀膜机包括：镀膜腔；靶材组件，设置于所述镀膜腔内；基板固定组件，设置于所述镀膜腔内，且与所述靶材组件相对设置；挡板，用于改变从所述靶材组件发射的粒子向所述基板固定组件的运动方向。本发明的镀膜机通过设置挡板以改变由靶材组件发射的粒子向基板固定组件的运动方向，这样，能够在避免改变溅射功率和溅射气氛等相关参数的情况下，实现对镀膜速度的调节，有利于简化控制过程以及保持镀膜进程的连续性，提高了镀膜过程的便利程度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 控制 方法 | ||
【主权项】：
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