[发明专利]一种磁控溅射门防下垂辅助装置及方法

摘要

本发明公开了一种磁控溅射门防下垂辅助装置，涉及防下垂技术领域，包括连接体、辅助装置。连接体左端具有调整体，连接体右端固定在磁控溅射门上。辅助装置固定在磁控溅射设备上，连接体与辅助装置位于相对方向，调整体位于辅助装置内，辅助装置与调整体具有一定间隙，辅助说装置包括复位件，复位件具有导向面，复位件为刚性材料，复位件位于调整体一侧，复位件为弧形。本发明在打开或关闭磁控溅射门过程中，使得调整体刚性接触复位件对磁控溅射门进行复位，达到保证金属腔体的密封性的目的。其中，调整体和复位件接触过程极为短暂，只有在磁控溅射门密封时才进行接触，极大减小了调整体和复位件的摩擦，有利于长时间保证金属腔体密封性。

主权项

1.一种磁控溅射门防下垂辅助装置，其中，包括：连接体，所述连接体一端具有调整体，所述连接体另一端固定在磁控溅射门上；辅助装置，所述调整体位于所述辅助装置内，所述辅助装置与所述调整体具有一定间隙，所述辅助装置包括：复位件，所述复位件具有导向面，所述复位件位于所述调整体一侧。