[发明专利]具有自润滑和耐磨性能的AlCrN/MoS2纳米复合薄膜及其制备方法在审
| 申请号： | 201910052656.0 | 申请日： | 2019-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN109778130A | 公开（公告）日： | 2019-05-21 |
| 发明（设计）人： | 王铁钢;蒙德强;许人仁;刘艳梅;阎兵;尹照星 | 申请（专利权）人： | 天津职业技术师范大学（中国职业培训指导教师进修中心） |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300222 天*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有自润滑和耐磨性能的AlCrN/MoS2纳米复合薄膜及其制备方法，属于薄膜技术领域。采用高功率脉冲与脉冲直流复合磁控镀膜技术在刀具基体上制备了AlCrN/MoS2纳米复合薄膜，沉积过程中，调整偏压至‑50～‑150V，然后通入N2和Ar的混合气体；工作气压保持在0.5～1.0Pa，AlCr靶功率保持为0.5～1.0kW，MoS2靶功率为0.05～0.3kW，沉积后获得所述AlCrN/MoS2纳米复合薄膜。所制备的AlCrN/MoS2复合薄膜具有优良的润滑性能，可以显著降低基体材料的磨损，具有较好的化学稳定性且剥层易转移等特性。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米复合薄膜 制备 耐磨性能 自润滑 沉积 薄膜技术领域 高功率脉冲 化学稳定性 磁控镀膜 刀具基体 复合薄膜 工作气压 功率保持 混合气体 基体材料 脉冲直流 润滑性能 剥层 磨损 复合 | ||
【主权项】：
1.一种具有自润滑和耐磨性能的AlCrN/MoS2纳米复合薄膜的制备方法，其特征在于：该方法是采用高功率脉冲与脉冲直流复合磁控镀膜技术在刀具基体上制备AlCrN/MoS2纳米复合薄膜，该制备方法具体包括如下步骤：(1)刀具基体固定于真空室内旋转架上，然后将真空室的本底真空度抽到3×10‑3Pa以下；AlCr靶连接在高功率脉冲电源上，MoS2靶连接在脉冲直流电源上；(2)刀具基体先进行辉光清洗，以除去表面杂质；然后进行离子轰击，以提高膜/基结合力；(3)沉积AlCrN/MoS2纳米复合薄膜：基体进行离子轰击后，降低偏压至‑50～‑150V，然后通入N2和Ar的混合气体；混合气体总流量保持为50～150sccm，其中反应气体N2流量为20～40sccm，Ar流量为30～110sccm；工作气压保持在0.5～1.0Pa，AlCr靶功率保持为0.5～1.0kW，同时开启MoS2靶并使靶功率为0.05～0.3kW，沉积一定时间后获得所述AlCrN/MoS2纳米复合薄膜。
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