[发明专利]可碱溶负性光敏聚酰亚胺树脂组合物有效

专利信息
申请号: 201910053285.8 申请日: 2019-01-21
公开(公告)号: CN109814336B 公开(公告)日: 2022-05-17
发明(设计)人: 黄珍荣;王胜林 申请(专利权)人: 深圳市道尔顿电子材料有限公司
主分类号: G03F7/038 分类号: G03F7/038
代理公司: 深圳盛德大业知识产权代理事务所(普通合伙) 44333 代理人: 贾振勇
地址: 518000 广东省深圳市光明*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明适用于材料技术领域,提供了一种可碱溶负性光敏聚酰亚胺树脂组合物,该组合物包括如下按质量份数计的组分:30份~60份可碱溶负性光敏聚酰亚胺共聚物,1.5份~15份丙烯酸酯系单体,1份~4份光引发剂,90份~220份有机溶剂以及0.05份~0.3份表面活性剂;所述可碱溶负性光敏聚酰亚胺共聚物的结构式如式1所示,其中:x=5~80,R为带羧基及不饱和双键的链段,其中A1为带乙硫基的含氟芳香族二胺单元,A2为二苯酮二酐单元,A3为主链含查尔酮基团的二酐单元。本发明具有高光敏性和分辨率,同时经过曝光后,非曝光区可以用无机碱溶液显影,可广泛应用于航空航天等领域。
搜索关键词: 可碱溶负性 光敏 聚酰亚胺 树脂 组合
【主权项】:
1.一种可碱溶负性光敏聚酰亚胺树脂组合物,其特征在于,包括如下按质量份数计的组分:30份~60份可碱溶负性光敏聚酰亚胺共聚物,1.5份~15份丙烯酸酯系单体,1份~4份光引发剂,90份~220份有机溶剂以及0.05份~0.3份表面活性剂;所述可碱溶负性光敏聚酰亚胺共聚物的结构式如式1所示:其中:x=5~80,R为带羧基及不饱和双键的链段,其中A1为带乙硫基的含氟芳香族二胺单元,A2为二苯酮二酐单元,A3为主链含查尔酮基团的二酐单元,A4为含螺环的二胺单元。
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