[发明专利]碲化锌掺碲化亚铜靶材的生产工艺

摘要

本发明公开了一种碲化锌掺碲化亚铜靶材的生产工艺，具体地说，是碲化锌掺碲化亚铜材料的合成方法及其靶材的生产方法。具体步骤如下：将Zn、Te、Cu三种元素单质破碎成均匀小块或粉末，精确称量，按理论用量将三种单质均匀装入石英管中，抽真空后，进行密管合成。将合成好的ZnTe(99+x)Cu2Te(1‑x)at%物料球磨，得到干燥的ZnTe(99+x)Cu2Te(1‑x)at%粉末。以此为原料进行热压烧结，制得ZnTe(99+x)Cu2Te(1‑x)at%靶坯。对靶坯进行机械加工得到靶材。本发明使用的密管合成法，按我司研发的时温程序合合成杂相少、成分均匀的ZnTe(99+x)Cu2Te(1‑x)at%，合成产物纯度99.995%以上。按我司独创的热压烧结成形生产工艺生产的碲化锌掺碲化亚铜靶材，相对密度高、成分均匀、晶粒均匀、晶粒小、成膜性能优异。

主权项

1. 一种碲化锌掺碲化亚铜靶材的生产工艺，其特征在于，包括如下步骤：（1）配料和封管 将纯度均为99.995%以上的Zn、Cu、Te单质破碎为均匀小块或粉末，按原子比Zn:Te:Cu=(99+x):100:2x（x≤10%），计算三种单质的用量，精确称量后将三种单质装入石英管中，抽石英管真空至10^‑2托，用氢氧焰封管待烧;（2）单温区密管合成将装好原料的密管装入单温区液相合成炉中，设置合成的时温曲线参数，分别在400~1000⁰C范围内的相应温度点各保温1小时，在1000~1200⁰C范围内的温度点保温2小时;等合成完全后停止加热，随炉冷却; （3）制粉用上述方法合成的碲化锌掺碲化亚铜材料是块状的，从密管中取出合成物，通过筛选、破碎、球磨制成100~200目的粉末作为生产靶材的原料;（4）热压烧结成形 将上述制得的粉末，按预先算好的用量，装入模具中，用热压烧结技术烧结成形，烧结温度900~1100⁰C，施加压力12~25MPa，烧结时间60~120min，得到碲化锌掺碲化亚铜靶材的毛坯。