[发明专利]压阻拾振的微谐振器、激振/拾振电路及压力传感器有效
| 申请号： | 201910056907.2 | 申请日： | 2019-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN109752120B | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 陈德勇;鲁毓岚;王军波;谢波;侍小青;李亚东 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电子学研究所 |
| 主分类号： | G01L1/10 | 分类号： | G01L1/10 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开提供一种压阻拾振的微谐振器、激振/拾振电路及压力传感器，该压阻拾振的微谐振器包括：锚点结构以及设置于锚点结构之上的可动结构；该可动结构，包括：H形梁结构、拾振端、驱动电极以及压敏电阻；其中，两根单梁的两端上分别设置有条形凹槽，该条形凹槽向拾振端延伸，将拾振端分为谐振信号检测段‑接地段‑谐振信号检测段三段结构，压敏电阻设置在单梁与谐振信号检测段的连接处。本公开提供的压阻拾振的微谐振器、激振/拾振电路及压力传感器采用压阻拾振方式，提高了谐振器的输出信号强度。 | ||
| 搜索关键词： | 压阻拾振 谐振器 激振 电路 压力传感器 | ||
【主权项】：
1.一种压阻拾振的微谐振器，包括：锚点结构；以及设置于所述锚点结构之上的可动结构，包括：H形梁结构；拾振端，设置于所述H形梁结构的端部，且分别与所述H形梁结构一端的两根单梁连接，分为：接地段和谐振信号检测段；两个驱动电极，分别设置在所述H形梁结构的两侧；以及压敏电阻，其沿所述H形梁结构中单梁的方向形成于所述H形梁结构上；其中，两根所述单梁的两端上分别设置有条形凹槽，该条形凹槽向所述拾振端延伸，将所述拾振端分为谐振信号检测段‑接地段‑谐振信号检测段三段结构，所述压敏电阻设置在所述单梁与所述谐振信号检测段的连接处。
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