[发明专利]机械手、半导体设备以及机械手工作状态检测方法在审
| 申请号： | 201910058135.6 | 申请日： | 2019-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN111452056A | 公开（公告）日： | 2020-07-28 |
| 发明（设计）人： | 陈路路 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B25J11/00 | 分类号： | B25J11/00;B25J9/16 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种机械手、半导体设备以及机械手工作状态检测方法。该机械手包括：力传感器，用于检测所述机械手的受力，基于所述机械手的受力而判断所述机械手在传输和取放晶片的过程中是否出现异常。通过本发明，可以及时、准确地发现机械手在传输和取放晶片过程中的异常，保障了机械手的安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 机械手 半导体设备 以及 工作 状态 检测 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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