[发明专利]晶环装置在审
申请号: | 201910058728.2 | 申请日: | 2019-01-22 |
公开(公告)号: | CN109638142A | 公开(公告)日: | 2019-04-16 |
发明(设计)人: | 梁国城 | 申请(专利权)人: | 先进光电器材(深圳)有限公司 |
主分类号: | H01L33/48 | 分类号: | H01L33/48;H01L21/67 |
代理公司: | 深圳市博锐专利事务所 44275 | 代理人: | 张明;任芹玉 |
地址: | 518000 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种晶环装置,包括支架、驱动所述支架沿X轴方向运动的第一驱动机构和驱动所述支架沿Y轴方向运动的第二驱动机构,还包括三个的用于固定晶环的固定机构,三个的所述固定机构间隔设置于所述支架上,所述固定机构包括旋转件、用于固定晶环的固定件和用于驱动所述旋转件进行360°旋转的第三驱动组件,所述固定件固定设置于所述旋转件上。本发明可以实现在同一台设备上同时固三种不同颜色的芯片,固晶效率高;不用在机台之间切换物料,可以节省时间,提升固晶品质。 | ||
搜索关键词: | 支架 固定机构 旋转件 固定件 环装置 驱动 固晶 机台 第一驱动机构 固定设置 间隔设置 驱动机构 驱动组件 种晶 芯片 | ||
【主权项】:
1.一种晶环装置,包括支架、驱动所述支架沿X轴方向运动的第一驱动机构和驱动所述支架沿Y轴方向运动的第二驱动机构,其特征在于,还包括三个的用于固定晶环的固定机构,三个的所述固定机构间隔设置于所述支架上,所述固定机构包括旋转件、用于固定晶环的固定件和用于驱动所述旋转件进行360°旋转的第三驱动组件,所述固定件固定设置于所述旋转件上。
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