[发明专利]一种基于SCR的高维持电压ESD器件

摘要

本发明提供一种基于SCR的高维持电压ESD器件，包括：P型衬底、NWELL区、第一N+接触区、第一P+接触区、PWELL区、第一齐纳注入区、第二N+接触区、第二P+接触区；第一齐纳注入区覆盖第二N+接触区尺寸为D1，第二P+接触区位于第二N+接触区右侧；第一N+接触区、第一P+接触区通过金属短接形成金属阳极；第二N+接触区、第二P+接触区通过金属短接形成金属阴极，本发明可以通过控制齐纳注入覆盖第二N+接触区距离D1调节器件的维持电压，可以通过控制浮空N+区与浮空P+区距离D2调节触发电压，本发明版图结构，在不增加横向面积的条件下，显著提高了器件的鲁棒性。

主权项

1.一种基于SCR的高维持电压ESD器件，其特征在于包括：P型衬底(101)、位于P型衬底(101)上方左侧的NWELL区(201)、位于NWELL区(201)内部上方的第一N+接触区(211)、位于NWELL区(201)内部上方的第一P+接触区(111)；其中，P+接触区(111)位于第一N+接触区(211)右侧；位于P型衬底(101)上方右侧的PWELL区(102)、位于PWELL区(102)内部上方的第一齐纳注入区(121)、位于PWELL区(102)内部上方的第二N+接触区(212)、位于PWELL区(102)内部上方的第二P+接触区(112)；其中，第一齐纳注入区(121)覆盖第二N+接触区(212)尺寸为D1，0≤D1<第二N+接触区总尺寸，第二P+接触区(112)位于第二N+接触区(212)右侧；第一N+接触区(211)、第一P+接触区(111)通过金属短接形成金属阳极(301)；第二N+接触区(212)、第二P+接触区(112)通过金属短接形成金属阴极(302)。