[发明专利]一种电子束蒸发式真空镀膜机在审
| 申请号： | 201910062222.9 | 申请日： | 2019-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN109628895A | 公开（公告）日： | 2019-04-16 |
| 发明（设计）人： | 杨佳葳;龚涛;蔡国;龚平;谢俊 | 申请（专利权）人： | 湖南宇诚精密科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 长沙明新专利代理事务所(普通合伙) 43222 | 代理人： | 徐新 |
| 地址： | 413001 湖南省益阳*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 一种电子束蒸发式真空镀膜机，包括腔体组件、伞架组件、高阀组件、深冷系统、管道系统、扩散泵、罗茨泵、机械泵、离子源组件、电子枪组件、电控柜组件、线槽组件和门夹紧组件；所述伞架组件固定在腔体组件上，所述高阀组件与腔体组件相连，所述高阀组件、扩散泵、罗茨泵以及机械泵通过管道系统连接在一起，所述门夹紧组件安装于腔体组件上；所述电子枪组件的电子枪部分、离子源组件的离子源部分均安装在腔体组件内；所述深冷系统包括2根深冷盘管，1根安装在腔体组件内，1根安装在高阀组件内。本发明具有机构简单，镀膜结构均匀重复性高，腔体尺寸可达2700mm，镀膜效率高等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 腔体组件 高阀 电子枪组件 电子束蒸发 离子源组件 真空镀膜机 管道系统 伞架组件 深冷系统 机械泵 扩散泵 罗茨泵 门夹 镀膜结构 镀膜效率 线槽组件 组件安装 电控柜 电子枪 冷盘管 离子源 腔体 | ||
【主权项】：
1.一种电子束蒸发式真空镀膜机，其特征在于：包括腔体组件、伞架组件、高阀组件、深冷系统、管道系统、扩散泵、罗茨泵、机械泵、离子源组件、电子枪组件、电控柜组件、线槽组件和门夹紧组件；所述伞架组件固定在腔体组件上，所述高阀组件与腔体组件相连，所述高阀组件、扩散泵、罗茨泵以及机械泵通过管道系统连接在一起，所述门夹紧组件安装于腔体组件上；所述电子枪组件的电子枪部分、离子源组件的离子源部分均安装在腔体组件内；所述深冷系统包括2根深冷盘管，1根安装在腔体组件内，1根安装在高阀组件内。
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