[发明专利]一种镀膜用蒸发装置有效
| 申请号： | 201910062315.1 | 申请日： | 2019-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN109594046B | 公开（公告）日： | 2023-07-07 |
| 发明（设计）人： | 蔡国;龚涛;杨佳葳;谢俊;龚平 | 申请（专利权）人： | 湖南宇晶机器股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 长沙明新专利代理事务所(普通合伙) 43222 | 代理人： | 徐新 |
| 地址： | 413001 湖南省益阳市*** | 国省代码： | 湖南;43 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种镀膜用蒸发装置，包括2根横梁Ⅰ、2根横梁Ⅱ、2个压块Ⅰ、4个锁紧块、4个压块Ⅱ、2个电阻片、2个坩埚支撑组件、3根导电柱、3个密封装置和2个坩埚；所述横梁Ⅰ、横梁Ⅱ、导电柱内均设有冷却水通道，所述导电柱的进水冷却水通道与横梁Ⅰ或横梁Ⅱ的冷却水通道进水端相连通，所述横梁Ⅰ或横梁Ⅱ的冷却水通道出水端与导电柱的出水冷却水通道相连通。利用本发明，可以有效的实现导热零部件的冷却，可以实现多工均匀加热。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 蒸发 装置 | ||
【主权项】：
1.一种镀膜用蒸发装置，其特征在于：包括2根横梁Ⅰ、2根横梁Ⅱ、2个压块Ⅰ、4个锁紧块、4个压块Ⅱ、4个电阻片、2个坩埚支撑组件、3根导电柱、3个密封装置和2个坩埚；所述横梁Ⅰ、横梁Ⅱ、导电柱内均设有冷却水通道，所述导电柱的进水冷却水通道与横梁Ⅰ或横梁Ⅱ的冷却水通道进水端相连通，所述横梁Ⅰ或横梁Ⅱ的冷却水通道出水端与导电柱的出水冷却水通道相连通；1根横梁Ⅰ通过压块与1根导电柱相连，连接位置密封，1根横梁Ⅰ、1根横梁Ⅱ与1根导电柱相连，连接位置密封，1根横梁Ⅱ通过压块与1根导电柱相连，连接位置密封，依次排列布置；所述导电柱通过密封装置与镀膜机腔体连接，实现连接口的密封；1组电阻片一端通过压块和锁紧块与横梁Ⅰ相连，另一端通过压块和锁紧块与横梁Ⅱ相连，连接时需要保证压紧，共两组；所述电阻片与坩埚支撑组件安装连接，所述坩埚与坩埚支撑组件安装连接，所述坩埚支撑组件与镀膜机腔体连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于湖南宇晶机器股份有限公司，未经湖南宇晶机器股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910062315.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
