[发明专利]一种位移与角度同步测量方法有效

专利信息
申请号: 201910063278.6 申请日: 2019-01-23
公开(公告)号: CN109632010B 公开(公告)日: 2020-07-17
发明(设计)人: 王玮;巴音贺希格;吕强;李文昊;宋莹;刘兆武;姜珊 申请(专利权)人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
主分类号: G01D21/02 分类号: G01D21/02;G01B11/00
代理公司: 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 代理人: 曹卫良
地址: 130033 吉林省长春*** 国省代码: 吉林;22
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摘要: 发明公开了一种位移与角度同步测量方法,包括步骤:激光器发出正交偏振的双频激光;双频激光经由所述分束器分为第一双频激光和第二双频激光;将第一双频激光和第二双频激光经偏振分束后经过反射以利特罗角入射至所述测量光栅上,然后携带相位信息的衍射光按原路返回,再在所述读数头内经偏振分束后在所述读数头内重合,并出射至所述接收器;S4,所述接收器将光信号转换为电信号,并输送给所述信号处理系统进行信号处理。本发明公开的位移与角度同步测量方法能实现位移与角度的同步、精确测量。
搜索关键词: 一种 位移 角度 同步 测量方法
【主权项】:
1.一种位移与角度同步测量方法,其通过位移与角度同步测量装置进行位移与角度的同步测量,其特征在于,所述位移与角度同步测量装置包括:激光器、分束器、读数头、测量光栅、接收器以及信号处理系统,所述方法包括步骤:S1,所述激光器发出正交偏振的双频激光;S2,所述双频激光经由所述分束器分为第一双频激光和第二双频激光;S3,将所述第一双频激光和第二双频激光经偏振分束后经过反射以利特罗角入射至所述测量光栅上,然后携带相位信息的衍射光按原路返回,再在所述读数头内经偏振分束后在所述读数头内重合,并出射至所述接收器;S4,所述接收器将光信号转换为电信号,并输送给所述信号处理系统进行信号处理。
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