[发明专利]一种柔性电容式压力传感器及其制备方法

摘要

本发明涉及电容式压力传感器技术领域，尤其涉及一种柔性电容式压力传感器及其制备方法。包括：顶部电极、底部电极，复合材料介质层以及导线；所述顶部电极、底部电极均由表面设置有导电聚合物层的基板构成；所述导电聚合物层中埋设有延伸到导电聚合物层外部的导线；所述复合材料介质层在所述顶部电极、底部电极上的导电聚合物层表面均有设置；所述柔性电容式压力传感器由顶部电极、底部电极设置有复合材料介质层的一面面对面组合形成。本发明制备的传感器灵敏度高、迟滞小、可重复性好的高性能柔性电容式压力传感器，且制备成本低廉、方法简单，可大规模生产，这种传感器可广泛应用于人机交互系统、探测传感器系统、医疗健康检测设备等领域。

主权项

1.一种柔性电容式压力传感器，其特征在于，所述传感器结构包括：顶部电极、底部电极，复合材料介质层，以及，导线；其中：所述顶部电极、底部电极均由表面设置有导电聚合物层的基板构成；所述导电聚合物层中埋设有延伸到导电聚合物层外部的导线；所述复合材料介质层在所述顶部电极、底部电极上的导电聚合物层表面均有设置；所述柔性电容式压力传感器由顶部电极、底部电极设置有复合材料介质层的一面面对面组合形成；所述导电聚合物由聚3，4‑乙烯二氧噻吩和聚苯乙烯磺酸盐混合而成；所述复合材料介质层由聚合物聚偏氟乙烯‑六氟丙烯和石墨烯量子点复合而成。