[发明专利]基于纳米粒子点阵量子电导的柔性温敏压力传感器及其组装方法和应用

摘要

本发明公开了基于纳米粒子点阵量子电导的柔性温敏压力传感器及其组装方法和应用，所述传感器包括高分子聚合物薄膜，金属纳米粒子点阵、金属微电极和电导测量外电路；其中，至少一组金属纳米粒子点阵沉积于高分子聚合物薄膜的上下表面，且各组内上下表面的金属纳米粒子点阵位置一一对应；金属微电极设于各组金属纳米粒子点阵的两侧，且对称分布于高分子聚合物薄膜的上下表面；电导测量外电路与金属微电极电连接。本发明纳米粒子点阵的电导响应信号随粒子间距呈指数关系，因此对压力引起的形变会有极其灵敏的响应；避免了额外集成温度传感器，精简了传感结构；纳米粒子点阵的阻抗都处于兆欧量级，功耗极小；能够大面积生产与封装。

主权项

1.基于纳米粒子点阵量子电导的柔性温敏压力传感器，其特征在于，所述传感器包括高分子聚合物薄膜(1)，金属纳米粒子点阵(2)、金属微电极(3)和电导测量外电路(4)；其中，至少一组金属纳米粒子点阵(2)沉积于高分子聚合物薄膜(1)的上下表面，且各组内上下表面的金属纳米粒子点阵(2)位置一一对应；金属微电极(3)设于各组金属纳米粒子点阵(2)的两侧，且对称分布于高分子聚合物薄膜(1)的上下表面；电导测量外电路(4)与金属微电极(3)电连接；上下表面的金属纳米粒子点阵(2)的导电能力随温度变化有同幅度的变化，上下表面的金属纳米粒子点阵(2)的导电能力随压力变化呈趋势相反的变化。