[发明专利]发光二极管外延片缺陷检测的方法和装置在审
| 申请号： | 201910064372.3 | 申请日： | 2019-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN109919907A | 公开（公告）日： | 2019-06-21 |
| 发明（设计）人： | 郭炳磊;王群;徐希;许展境;李鹏 | 申请（专利权）人： | 华灿光电（浙江）有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06K9/62;G06N3/04 |
| 代理公司： | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 | 代理人： | 徐立 |
| 地址： | 322000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种发光二极管外延片缺陷检测的方法和装置，属于半导体技术领域。所述方法包括：获取待检测外延片的图像；将所述待检测外延片的图像与无缺陷外延片的图像进行比较，从所述待检测外延片的图像中截取缺陷部分的图像；将所述缺陷部分的图像输入卷积神经网络，得到所述缺陷部分的缺陷类型，所述卷积神经网络的参数通过采用多个标定有缺陷类型的缺陷图像进行训练得到。本发明通过在获取待检测外延片的图像之后，先将其与无缺陷外延片的图像进行比较，从中截取出缺陷部分的图像，再利用多个标定有缺陷类型的缺陷图像训练出的卷积神经网络，可以大大提高检测效率，而且检测结果的准确度可以保证，特别满足工业生产的需求。 | ||
| 搜索关键词： | 外延片 图像 卷积神经网络 缺陷类型 检测 发光二极管外延 方法和装置 缺陷检测 缺陷图像 标定 截取 半导体技术领域 检测结果 图像输入 准确度 再利用 保证 | ||
【主权项】：
1.一种发光二极管外延片缺陷检测的方法，其特征在于，所述方法包括：获取待检测外延片的图像；将所述待检测外延片的图像与无缺陷外延片的图像进行比较，从所述待检测外延片的图像中截取缺陷部分的图像；将所述缺陷部分的图像输入卷积神经网络，得到所述缺陷部分的缺陷类型，所述卷积神经网络的参数通过采用多个标定有缺陷类型的缺陷图像进行训练得到。
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