[发明专利]一种研磨头及化学机械研磨设备在审

专利信息
申请号: 201910064688.2 申请日: 2019-01-23
公开(公告)号: CN109605210A 公开(公告)日: 2019-04-12
发明(设计)人: 王光毅;蒋阳波;杨俊铖;高林 申请(专利权)人: 长江存储科技有限责任公司
主分类号: B24B37/27 分类号: B24B37/27;B24B37/34;B24B37/00
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 党丽;王宝筠
地址: 430074 湖北省武汉市东湖*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明提供一种研磨头及化学机械研磨设备,用于晶片的承载的主体部件、连接部件、金属卡环以及接地线;其中,所述连接部件固定于所述主体部件,所述连接部件包括导电材料;卡环,所述卡环设置于所述主体部件的外周,卡环为导电材料,电连接所述连接部件的金属材料以及卡环的电连接线。通过电连接线,可以将研磨时反应产生的副产物而导致的晶片上分布不均匀的电荷导至地端,从而,避免由不均匀电荷而导致的平坦化缺陷,提高平坦化程度。
搜索关键词: 连接部件 卡环 主体部件 化学机械研磨设备 导电材料 电连接线 电荷 不均匀 平坦化 研磨头 晶片 金属材料 金属卡环 研磨 电连接 副产物 接地线 地端 外周 承载
【主权项】:
1.一种研磨头,其特征在于,包括:用于晶片的承载的主体部件、连接部件、卡环以及接地线;其中,所述连接部件固定于所述主体部件,所述连接部件包括导电材料;卡环,所述卡环设置于所述主体部件的外周,所述卡环为导电材料;一条或多条电连接线,用于电连接所述连接部件与所述卡环。
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